Nguyên lý của máy làm sạch siêu âm chủ yếu là chuyển đổi năng lượng âm thanh của nguồn tần số siêu âm công suất thành rung động cơ học thông qua một đầu dò, và sóng siêu âm được tỏa ra chất lỏng làm sạch trong bể thông qua vách bể làm sạch. Do bức xạ của sóng siêu âm, các microbubbles trong chất lỏng trong bể có thể duy trì độ rung dưới tác động của sóng âm thanh. Phá hủy sự hấp phụ của bụi bẩn và bề mặt của phần làm sạch, gây ra sự hư hỏng mệt mỏi của lớp bụi bẩn và ngắt kết nối nó, sự rung động của các bong bóng khí làm sạch bề mặt rắn.